볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법A Bolometer MEMS Device And The Manufacturing Method of the Bolometer MEMS Device
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 오재섭 | ko |
| dc.contributor.author | 이종권 | ko |
| dc.contributor.author | 박종철 | ko |
| dc.contributor.author | 김태현 | ko |
| dc.contributor.author | 김광희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-02-08T06:51:05Z | - |
| dc.date.available | 2022-02-08T06:51:05Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/292177 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 소자는, 하부 기판; 및 상기 하부 기판에 형성된 적외선 센서를 포함한다. 상기 적외선 센서는, 상기 하부 기판의 상부면에 형성되어 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속 패드; 상기 금속 패드와 동일한 평면에 배치되고 상기 하부 기판의 상부면에 형성되고 적외선 대역을 반사하는 반사층; 상기 반사층을 덮도록 배치되고 광경로 거리를 변경하는 투과층; 상기 투과층의 상부에 이격되어 형성되고 적외선을 흡수하여 저항을 변화시키는 흡수판; 및 상기 금속 패드의 상부에 형성되어 상기 흡수판을 지지하고 상기 금속 패드와 상기 흡수판을 전기적으로 연결하는 앵커를 포함한다. 상기 반사층의 상부면과 상기 흡수판의 하부면 사이의 거리는 특정 적외선 파장에서 파장/4 보다 작다. | - |
| dc.title | 볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | A Bolometer MEMS Device And The Manufacturing Method of the Bolometer MEMS Device | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오재섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이종권 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박종철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김태현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김광희 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2020-0029504 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2358860-0000 | - |
| dc.date.application | 2020-03-10 | - |
| dc.date.registration | 2022-01-28 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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