자가 조립 저마늄 구조를 위한 PCA 기반 표면 검사 및 분석 방법론

Abstract

Germanium-On-Nothing (GON)은 자가 조립 공정 기술로 만든 구조로, 다양한 크기 및 형태의 공동을 매립할 수 있다(1). GON의 공동은 매립되어, 적절한 사용을 위해서는 공동 크기와 형상의 정확한 모니터링 및 검사가 필요하다. GON의 공동 제작을 위한 어닐링 과정은 환경, 온도 및 지속 시간에 의해 표면과 내부 공동 형상이 균일하게 변한다. 이 특징을 이용하여 실험적 데이터를 정확히 보간 할 수 있다면 현재 사용중인 측정 시간이 오래 걸리는 엄밀한 비파괴 3D 검사 전략의 의존도가 낮아진다. 이에 본 연구는 온도, 환경, 그리고 어닐링 지속 시간에 따라 변하는 GON 구조의 표면과 내부 공동 형상의 상관관계를 주성분 분석을 통해 데이터베이스로 구축한다. 이후 새로운 표면에 해당하는 내부 형상을 구축된 데이터베이스에서 보간하여 예측을 해주는 방법론을 제시한다. 동시에, 같은 방법론을 통해 표면 결함 또한 분석한다.