학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 2016.2,[vi, 82 p. :]
Dual-servo stage▼aMagnetic levitation▼aVoice coil motor▼aFine stage▼aOptimal design; 이중 서보 스테이지▼a자기 부상▼a보이스 코일 모터▼a미세 스테이지▼a최적 설계
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