수소 센서 및 그 제조 방법HYDROGEN SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박인규 | ko |
| dc.contributor.author | 조민규 | ko |
| dc.contributor.author | 가오민 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-02-02T02:50:24Z | - |
| dc.date.available | 2021-02-02T02:50:24Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/280448 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 센서는, 도핑 농도에 따라 복수의 전극 영역과 하나의 채널 영역으로 구획되는 상부의 반도체 층이 구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기 반도체 층의 상기 복수의 전극 영역 상에 형성되는 복수의 전극; 및 상기 반도체층의 상기 채널 영역을 식각함으로써 형성되는 실리콘 나노그물 및 수소 기체와 반응하도록 상기 실리콘 나노그물 상에 증착되는 감지 물질로 구성되는 감지부; 를 포함한다. | - |
| dc.title | 수소 센서 및 그 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | HYDROGEN SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 박인규 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 가오민 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2019-0081645 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2208383-0000 | - |
| dc.date.application | 2019-07-05 | - |
| dc.date.registration | 2021-01-21 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.