수소 센서 및 그 제조 방법HYDROGEN SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

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dc.contributor.author박인규ko
dc.contributor.author조민규ko
dc.contributor.author가오민ko
dc.date.accessioned2021-02-02T02:50:24Z-
dc.date.available2021-02-02T02:50:24Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/280448-
dc.description.abstract본 발명의 일 실시예에 따른 수소 센서는, 도핑 농도에 따라 복수의 전극 영역과 하나의 채널 영역으로 구획되는 상부의 반도체 층이 구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기 반도체 층의 상기 복수의 전극 영역 상에 형성되는 복수의 전극; 및 상기 반도체층의 상기 채널 영역을 식각함으로써 형성되는 실리콘 나노그물 및 수소 기체와 반응하도록 상기 실리콘 나노그물 상에 증착되는 감지 물질로 구성되는 감지부; 를 포함한다.-
dc.title수소 센서 및 그 제조 방법-
dc.title.alternativeHYDROGEN SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor박인규-
dc.contributor.nonIdAuthor가오민-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2019-0081645-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2208383-0000-
dc.date.application2019-07-05-
dc.date.registration2021-01-21-
dc.publisher.countryKO-
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ME-Patent(특허)
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