PDH 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법Apparatus and method for measuring ultrafine displacement using PDH locking

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본 발명의 목적은, 측정 대상인 광학 부품에서 열적 변화 등에 의해 일어나는 미소 형상 변화 및 이에 따른 성능이 불안정해지는 정도를 모든 주파수대역에서 신뢰성있게 평가할 수 있도록 하는, PDH 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법을 제공함에 있다. 보다 구체적으로는, 본 발명의 목적은, PDH 잠금 기법을 역으로 이용하여 안정적인 레이저 광원을 기준으로 측정 대상에서 발생하는 공진주파수의 미소 변화로 인한 안정성 레벨을 효과적으로 측정할 수 있도록 하는, PDH 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법을 제공함에 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2018-12-21
Application Number
10-2018-0167866
Registration Date
2020-03-06
Registration Number
10-2088501-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/278051
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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