3차원 이미징을 위한 마이크로 미러가 집적된 이미징 디바이스 및 그 제조 방법MICRO-MIRROR EMBEDDED IMAGING DEVICE FOR 3D IMAGING AND MANUFACTURING METHOD FOR THE IMAGING DEVICE

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본 발명은 3차원 이미징을 위한 마이크로 미러를 제작하는 방법과, 그에 따라 제조된 마이크로 미러를 커버 글래스에 삽입한 이미징 디바이스 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 서로 다른 크기의 제1 커버 글래스 및 제2 커버 글래스 상에 유로 레이어 및 스테이지의 오버랩 영역을 형성하는 단계, 상기 오버랩 영역이 형성된 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나 이상에 마이크로 미러를 삽입하는 단계 및 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 형성된 상기 유로 레이어를 결합시켜 3차원 이미징을 위한 이미징 디바이스를 형성하는 단계를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2018-11-09
Application Number
10-2018-0136980
Registration Date
2020-07-24
Registration Number
10-2139868-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/277989
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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