플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치MANUFACTURING APPARATUS FOR GRAPHENE USING FLASH LAMP
본 발명은 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의하면, 기판층과 상기 기판층에 적층된 금속층을 구비하는 그래핀 성장판이 수용되는 내부 공간을 제공하는 반응 챔버; 및 상기 금속층을 향해 빛을 조사하는 광 조사부를 포함하며, 상기 광 조사부는 상기 금속층으로 조사되는 빛을 생성하는 플래시 램프와, 상기 금속층으로 조사되는 플래시 램프의 빛이 통과하는 관통 구멍이 형성되고 상기 금속층과 대향하도록 위치하는 덮개부를 구비하며, 상기 관통 구멍은 상기 관통 구멍을 통과하는 빛 전체가 상기 금속층의 특정 영역을 조사하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치가 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원,코오롱인더스트리 주식회사
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2015-06-08
- Application Number
- 10-2015-0080685
- Registration Date
- 2020-08-25
- Registration Number
- 10-2150047-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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