광학 현미경 장치OPTICAL MICORSCOPY DEVICE

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일 실시예에 따른 광학 현미경 장치는, 빛을 방출하는 레이저 광원, 상기 레이저 광원의 일 측에 형성되어 상기 빛을 반사 시키는 미소 반사 표시기, 상기 미소 반사 표시기에서 반사된 빛을 시편에 주사하는 대물 렌즈, 상기 시편에서 반사된 빛을 검출하는 광 검출기를 포함한다. 여기서, 상기 미소 반사 표시기는 스캐닝 영역 내에 구비된 복수 개의 미소 거울들을 포함하고, 일부 미소 거울들이 시간에 따라 상기 스캐닝 영역을 이동함으로써 광학 현미경 장치는 상기 시편의 이차원 이미지를 측정할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원,한양대학교 산학협력단
Country
KO (South Korea)
Application Date
2015-11-18
Application Number
10-2015-0162062
Registration Date
2017-06-02
Registration Number
10-1745797-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/275422
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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