가변온도 주사탐침 현미경

Abstract

본 발명의 일실시예에 따르면, 가변온도 주사탐침 현미경에 있어서, 샘플 마운트와 SPM 헤드를 높은 열저항을 가지는 열차단 부재로 분리하여 샘플 표면 스캔시 SPM 헤드의 온도 상승을 방지시켜 SPM 탐침의 샘플 표면상 스캔 동작을 보다 정확히 제어할 수 있다. 또한, 서로 다른 열처리나 조성을 가지도록 형성한 복수의 샘플을 보관하는 샘플 저장소를 초저온부에 구현하여 복수의 샘플을 오염없이 장기간 보관할 수 있도록 함으로써 여러 조건의 샘플에 대한 측정을 신속히 반복적으로 수행할 수 있도록 한다.