다공성 금속산화물 나노쉬트를 이용한 가스 센서용 부재 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 가스 센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로써, 구체적으로는 금속전구체를 그래핀 산화물 나노쉬트에 코팅한 물질을 일차적으로 합성하고, 고온 산화열처리 과정을 통해 그래핀 산화물은 열분해하여 제거시키고, 금속전구체는 산화하여 금속산화물 나노쉬트를 합성한 뒤, 추후 금속 거울반응을 통해 금속 나노입자 촉매가 기능화 된 소재를 이용한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 특히, 기존의 금속산화물 나노쉬트 합성법의 한계점을 극복하여 그래핀 산화물 템플릿 기법을 통해 매우 손쉽게 합성할 수 있으며, 이렇게 합성된 금속 나노입자 촉매가 기능화 된 금속산화물 나노쉬트는 매우 얇은 두께, 매우 넓은 비표면적 및 기공구조, 그리고 활성화된 촉매특성을 바탕으로 극소량의 가스를 매우 높은 감도로 검출해 낼 수 있는 감도특성을 가져 효과적인 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법을 개시 할 수 있는 효과를 갖는다.