전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막, 그 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이 소자Transition metal dichalcogenide thin film, manufacturing for the same, and dislpay component comprising the same

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dc.contributor.author최성율ko
dc.contributor.author심기웅ko
dc.contributor.author홍웅기ko
dc.date.accessioned2020-05-30T03:20:34Z-
dc.date.available2020-05-30T03:20:34Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/274370-
dc.description.abstract전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법으로, 2종 이상의 전이금속칼코겐화합물 전구체를 기판이 구비된 반응기 내에 기상으로 주입하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐화합물 전구체를 산소 조건에서 분해시켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐화합물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법이 제공된다.-
dc.title전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막, 그 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이 소자-
dc.title.alternativeTransition metal dichalcogenide thin film, manufacturing for the same, and dislpay component comprising the same-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor최성율-
dc.contributor.nonIdAuthor심기웅-
dc.contributor.nonIdAuthor홍웅기-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2018-0157881-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2102691-0000-
dc.date.application2018-12-10-
dc.date.registration2020-04-14-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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