DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 최성율 | ko |
dc.contributor.author | 심기웅 | ko |
dc.contributor.author | 홍웅기 | ko |
dc.date.accessioned | 2020-05-30T03:20:34Z | - |
dc.date.available | 2020-05-30T03:20:34Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/274370 | - |
dc.description.abstract | 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법으로, 2종 이상의 전이금속칼코겐화합물 전구체를 기판이 구비된 반응기 내에 기상으로 주입하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐화합물 전구체를 산소 조건에서 분해시켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐화합물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법이 제공된다. | - |
dc.title | 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막, 그 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이 소자 | - |
dc.title.alternative | Transition metal dichalcogenide thin film, manufacturing for the same, and dislpay component comprising the same | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 최성율 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 심기웅 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 홍웅기 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0157881 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2102691-0000 | - |
dc.date.application | 2018-12-10 | - |
dc.date.registration | 2020-04-14 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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