전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막, 그 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이 소자Transition metal dichalcogenide thin film, manufacturing for the same, and dislpay component comprising the same
전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법으로, 2종 이상의 전이금속칼코겐화합물 전구체를 기판이 구비된 반응기 내에 기상으로 주입하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐화합물 전구체를 산소 조건에서 분해시켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐화합물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법이 제공된다.