전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막, 그 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이 소자Transition metal dichalcogenide thin film, manufacturing for the same, and dislpay component comprising the same

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전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법으로, 2종 이상의 전이금속칼코겐화합물 전구체를 기판이 구비된 반응기 내에 기상으로 주입하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐화합물 전구체를 산소 조건에서 분해시켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐화합물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐화합물(TMDC) 박막 제조방법이 제공된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2018-12-10
Application Number
10-2018-0157881
Registration Date
2020-04-14
Registration Number
10-2102691-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/274370
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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