모아레무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법및 장치

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본 발명은 영사식 모아레장치를 이용하여 임의의 3차원 형상을 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 기준격자를 사용하지 않고 단지 투영격자만을 적용하여 기준위상과 물체위상을 획득하며, 상기 위상들로부터 연산에 의해 모아레 무늬를 얻은 후, 이로부터 임의의 3차원 형상을 측정하는 모아레 무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명의 측정방법은 투영격자만을 사용하여 기준면의 기준위상과 측정물의 물체위상을 획득하고, 상기 측정위상과 기준위상을 연산하여 모아레 위상을 획득하고 상기 모아레 위상을 언래핑 함으로써 측정물의 높이정보를 얻는다.투영격자, 기준격자, 영사식, 모아레, 위상천이
Assignee
(주) 인텍플러스
Country
KO (South Korea)
Application Date
2000-11-22
Application Number
10-2000-0069549
Registration Date
2003-06-13
Registration Number
10-0389017-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/274179
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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