멤스 기반 나노 단위 파괴 거동 분석 장치 및 제조 방법MEMS-BASED APPARATUS FOR CHARACTERIZATION OF FRACTURE BEHAVIOR AT NANO-SCALE AND METHOD THEREOF
본 발명의 일실시예에 따르면, 멤스 기반 나노 단위 파괴 거동 분석 장치로서, SOI 기판의 상부 기판을 나노 단위 물질의 파괴 거동 분석을 수행하는 고정판과 이동판으로 구성하고 이동판의 하부 영역에는 SOI 기판의 하부 기판이 바텀 매스로 형성되도록 함으로써, 시편의 파괴 거동을 위한 외력이 이동판에 인가되는 경우, 외력이 바텀 매스를 통해 분산되고 이에 따라 외력에 의한 시편의 파괴 현상이 지연되어 시편에 대한 파괴 거동을 보다 정확히 측정할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-02-28
- Application Number
- 10-2018-0024689
- Registration Date
- 2020-03-04
- Registration Number
- 10-2087131-0000
- Appears in Collection
- NE-Patent(특허)NT-Patent(특허)
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