굴절률 및 스트레인의 주기적 동시변화를 이용한 공진기와 전하구속 구조 일체형 주기성 다리 구조 및 그 제조 방법

Abstract

굴절률 및 스트레인의 주기적 동시변화를 이용한 공진기와 전하구속 구조 일체형 주기성 다리 구조 및 그 제조 방법이 제시된다. 일 실시예에 따른 공진기와 전하구속 구조 일체형 주기성 다리 구조체는, 이종기판 위에 성장한 박막에 패터닝(Patterning)을 통해 구성된 주기성을 갖는 다리(Bridge) 구조의 공진기를 포함하고, 상기 이종기판에 반도체 박막을 성장시키고 열팽창 계수 차이 또는 기판간의 격자상수 차이에 따른 스트레인(Strain)을 인가한 후, 상기 공진기의 구조의 스트레인 주기성에 따른 전하구속 구조체가 형성될 수 있다.