촉매가 기능화된 다공성 금속산화물 중공 스피어를 이용한 가스 센서 및 그 제조방법GAS SENSOR USING METAL OXIDE HOLLOW SPHERES FUNCTIONALIZED BY CATALYSTS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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본 발명은 가스센서용 부재, 이를 이용한 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로써, 구체적으로는 전기분사 기법을 통해 제작된 SiO2 전구체 및 금속산화물 전구체를 동시에 포함하는 복합 스피어를 고온 열처리 과정을 거쳐 코어-SiO2/쉘-금속산화물의 코어/쉘 구조의 복합 스피어를 형성하고, 이를 식각 공정을 거쳐 코어의 SiO2를 선택적으로 제거함에 따라 형성된 메조 및 메크로 기공을 포함하는 금속산화물 중공 스피어 구조를 이룬다. 이때, 나노입자 촉매를 추가적으로 결착시킴으로써 나노입자 촉매가 균일하게 결착된 메조 및 메크로 기공을 포함하는 금속산화물 중공 스피어 구조의 가스센서용 부재를 제공한다. 극미량의 가스를 검출해 낼 수 있는 높은 감도 특성과 함께, 특정 가스에만 선택적으로 반응하는 우수한 선택성을 가지며, 식각 공정을 통해 메조 및 메크로 기공을 포함하는 중공 스피어의 구조적 장점으로 인해 기체의 유입 특성 및 반응 면적을 향상시킬 수 있는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 이와 더불어 나노입자 촉매를 결착시킴으로써 구조 제어와 고성능 촉매 결착을 동시에 포함하는 가스 센서용 부재의 공정 방법으로 손쉽게 대량 생산이 가능한 가스센서용 부재, 가스센서 및 그 제조방법을 개시할 수 있는 효과를 갖는다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2018-02-13
Application Number
10-2018-0017574
Registration Date
2019-11-13
Registration Number
10-2046704-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/268568
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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