파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER

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dc.contributor.author박용근ko
dc.contributor.author김규현ko
dc.date.accessioned2019-08-06T02:20:42Z-
dc.date.available2019-08-06T02:20:42Z-
dc.date.issued2019-07-24-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/264047-
dc.description.abstract파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 광조형 방법은, 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계, 계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계, 및 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함할 수 있다.-
dc.title파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치-
dc.title.alternativeMETHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor박용근-
dc.contributor.nonIdAuthor김규현-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2017-0129744-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2005632-0000-
dc.date.application2017-10-11-
dc.date.registration2019-07-24-
dc.publisher.countryKO-
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PH-Patent(특허)
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