블록 공중합체의 나노구조체 및 이의 제조방법NANO-STRUCTURE OF BLOCK COPOLYMER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

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기판 위에 존재하는 자기조립된(self-assembled) 블록 공중합체를 포함하고 상기 블록 공중합체는 복수의 블록 구조단위를 포함하고, 이들 중 적어도 2개의 블록 구조단위의 용해도 파라미터(solubility parameter, δ의 차이가 약 5 MPa1/2 이상인, 블록 공중합체의 나노구조체를 제공한다.
Assignee
삼성전자주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-06-28
Application Date
2012-09-28
Application Number
10-2012-0108745
Registration Date
2019-06-28
Registration Number
10-1996493-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/263848
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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