나노 층화 봉지 구조체, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 플렉시블 유기 발광 다이오드 장치Nano stratified encapsulation structure, method of manufacturing the same, and flexible organic light emitting diode device
본 발명은, 플렉시블 유기 발광 다이오드에 적용될 수 있는 유연성과 투습성을 가지는 나노 층화 봉지 구조체를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 나노 층화 봉지 구조체는, 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 제1 무기층과 제2 무기층을 포함하는 나노 층화 무기층; 및 상기 나노 층화 무기층 상에 형성된 유기층;을 포함하고, 상기 나노 층화 무기층은 상기 제1 무기층과 상기 제2 무기층의 경계에 공극을 구비한다.