박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치 및 그 방법APPARATUS FOR MEASURING COEFFICIENT OF THERMAL EXPANSION OF THIN FILM AND METHOD THEREOF

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본 발명에 의한 박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치는 내부에 물을 수용하고, 파티클을 뿌리는 방식을 이용하여 적어도 한 쌍의 파티클이 그 표면에 패터닝된 박막이 상기 물의 표면에 띄워지는 용기; 상기 용기 내부의 물을 가열하여 상기 박막의 온도를 간접적으로 높이는 가열부; 상기 물의 표면에 띄워진 박막을 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부; 및 상기 가열부에 의해 가열되는 물 표면의 온도 변화에 따라 상기 촬영부에 의해 획득된 이미지로부터 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리 변화율을 추출하여 추출된 상기 거리 변화율을 기반으로 상기 박막의 열팽창 계수를 산출하는 제어부를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-03-12
Application Date
2017-07-13
Application Number
10-2017-0088905
Registration Date
2019-03-12
Registration Number
10-1959365-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/261541
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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