정전 구동 스위치ELECTROSTATIC SWITCH

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정전 구동 스위치는, 게이트 전극; 소오스 전극; 상기 소오스 전극과 접속되는 소오스 접점; 상기 소오스 전극의 주변에 배치되되, 상기 소오스 전극과는 전기적으로 절연된 몸체 플레이트; 및 상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함한다. 정전 구동 스위치에 따르면, 하나의 접점에 의해 접촉되고, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 수직으로 적층되는 층수를 적게 구현하여 제작이 용이하다.
Assignee
(주)티에스이,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2017-12-29
Application Date
2016-10-27
Application Number
10-2016-0140675
Registration Date
2017-12-29
Registration Number
10-1815538-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/257290
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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