정전 구동 스위치ELECTROSTATIC SWITCH
정전 구동 스위치는, 게이트 전극; 소오스 전극; 상기 소오스 전극과 접속되는 소오스 접점; 상기 소오스 전극의 주변에 배치되되, 상기 소오스 전극과는 전기적으로 절연된 몸체 플레이트; 및 상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함한다. 정전 구동 스위치에 따르면, 하나의 접점에 의해 접촉되고, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 수직으로 적층되는 층수를 적게 구현하여 제작이 용이하다.
- Assignee
- (주)티에스이,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2017-12-29
- Application Date
- 2016-10-27
- Application Number
- 10-2016-0140675
- Registration Date
- 2017-12-29
- Registration Number
- 10-1815538-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.