2차원 물질 기반의 능동소자ACTIVE ELEMENT BASED ON 2D MATERIAL

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본 발명의 실시 형태에 따른 2차원 물질 기반의 능동소자는, 상면과 상면에서 위로 돌출된 돌출부를 포함하는 기판; 기판의 상면에 배치되고, 기판의 돌출부의 일 측에 배치된 제1 전극; 기판의 상면에 배치되고, 기판의 돌출부의 타 측에 배치된 제2 전극; 제2 전극의 상면에 배치된 절연체; 및 절연체를 덮고, 제1 전극의 상면과 제2 전극의 상면에 배치된 2차원 물질층;을 포함한다. 이러한 실시 형태에 따른 능동소자는, 절연체 위에 표면 상태가 민감한 2차원 물질층이 형성되기 때문에, 제작이 용이하고, 공정 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 또한, 실시 형태에 따른 능동소자는 2차원 물질층이 외부에 노출되기 때문에 센서로서 이용될 수 있는 이점이 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2018-01-17
Application Date
2016-03-23
Application Number
10-2016-0034376
Registration Date
2018-01-17
Registration Number
10-1821400-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/257144
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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