나노 전사 프린팅을 이용하는 선 격자 편광판 및 그 제조 방법

Abstract

일실시예에 따르면, 선 격자 편광판 제조 방법은 제1 요철 패턴을 갖는 마스터 템플릿 기판을 준비하는 단계; 상기 마스터 템플릿 기판의 상기 제1 요철 패턴 상에 고분자 박막을 도포하고 분리하여, 상기 제1 요철 패턴에 대한 역상 구조의 제2 요철 패턴을 갖는 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계; 상기 고분자 복제 박막 몰드의 상기 제2 요철 패턴 중 돌출부 위에 기능성 물질을 증착하여 기능성 나노 구조체를 형성하는 단계; 상기 기능성 나노 구조체를 편광 기판 위에 프린팅하고 에칭하여 나노 격자 기판을 제작하는 단계; 상기 나노 격자 기판에 전도성 물질을 증착하는 단계; 및 상기 전도성 물질의 상부를 선택적으로 제거하여, 선 격자 편광판을 제조하는 단계를 포함한다.