비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버 및 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버의 제조 방법ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER ACTUATORS WITH NON-CONTACT ACTUATION SCHEME AND METHODS OF MANUFACTURING ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER ACTUATORS

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비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버는 전극, 캔틸레버(cantilever)층 및 접촉 방지 부재(stopper)를 포함한다. 캔틸레버층은 전극 상에 배치되고, 일단이 고정되며, 응력 특성이 상이한 복수의 층들에 기초하여 제1 방향으로 휘고 정전기력에 의해 제2 방향으로 구동된다. 접촉 방지 부재는 캔틸레버층에 배치되고, 캔틸레버층의 일면이 전극과 캔틸레버층 사이에 배치된 타 부재에 접촉하는 것을 방지한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2018-11-16
Application Date
2016-08-19
Application Number
10-2016-0105346
Registration Date
2018-11-16
Registration Number
10-1921273-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/254911
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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