정전 구동 스위치

Abstract

정전 구동 스위치에 있어서, 상기 스위치의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되는 게이트 전극; 전원전압 또는 그라운드 전압이 인가되는 소오스 플레이트; 상기 소오스 플레이트와 연결되어 상기 소오스 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 소오스 접점; 및 상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함하되, 상기 소오스 플레이트는, 본체; 상기 본체에 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부; 및 상기 본체 내부에 형성되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치가 개시된다.정전 구동 스위치에 따르면, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킴과 동시에 판 면적을 증가시킬 수 있어 정전기력을 증가시킬 수 있다.