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Molecular and polymeric resists for deep UV lithography = Deep UV 리소그라피용 분자 및 고분자 레지스트에 관한 연구link Ganesan, Ramakrishnan; 가네산, 라마크리시난; et al, 한국과학기술원, 2006 |
Synthesis of copolymers with diazo groups and their application as DUV resists = 다이아조기를 포함하는 고분자의 합성과 레지스트로서의 응용link Kim, Kyoung-Seon; 김경선; et al, 한국과학기술원, 2005 |
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