탄성도 측정 장치

Abstract

탄성도 측정 장치는 제1 개구부 및 제2 개구부를 갖는 하부층 구조물, 상기 제1 및 제2 개구부들을 커버하여 제1 및 제2 챔버들을 각각 정의하고 상기 제1 및 제2 챔버들 내부의 압력에 의해 상하로 변형 가능한 제1 및 제2 가변형 박막들, 상기 하부층 구조물 상에서 탄성체와 접촉하도록 돌출하여 상기 제1 및 제2 가변형 박막들을 상기 탄성체로부터 이격 지지하기 위한 지지층 구조물, 상기 제1 및 제2 챔버들 내에 압력을 인가하여 상기 제1 및 제2 가변형 박막들을 변형시키기 위한 구동부, 및 상기 제1 및 제2 가변형 박막들의 변형을 검출하기 위한 제1 및 제2 변형 검출부들을 포함한다. 상기 제1 및 제2 챔버들 내부의 압력이 제1 압력에서 제2 압력으로 증가할 때 상기 제1 가변형 박막은 상기 탄성체와 접촉한 상태로 변형되는 반면, 상기 제2 가변형 박막은 상기 탄성체와 접촉하지 않은 상태로 변형되도록 구성된다.