연소 면적이 증가된 평판형 MEMS 고체 추진제 추력기의 구성 요소 제작

Abstract

MEMS(Micro Electro-Mechanical System) 가공법을 이용하여 고체 추진제의 그레인 형상이 있는 평판형 추력기를 설계 및 제작하였다. 고 종횡비의 구조체를 제작할 수 있는 감광유리의 불산 습식식각 공정을 이용하여 연소 챔버와 노즐을 제작하였다. 보조 연소 챔버 층을 갖는 연소 챔버를 제작한 후 열 접합하여 완성하였다. 점화기는 니켈 스퍼터링(Sputtering)을 통하여 제작하였다. 고체 추진제는 HTPB(Hydroxyl Terminated Poly Butadiene)/AP(Ammonium Perchlorate) 계열의 혼합형 추진제를 펠릿 형태로 연소 챔버에 충전하였다.