광 산란 측정을 통한 수직 공진 표면광 레이저 반사경의 계면 거칠기 분석Surface roughness analysis of distributed Bragg reflectors in vertical-cavity surface-emitting lasers by measuring the scattering distribution function

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수직 공진 표면광 레이저에서 분산 브라그 반사경의 광 산란 손실을 자세히 분석하기 위하여, 광산란 실험을 수행하고 산란효과를 고려한 투과 행렬 방법을 통하여 표면 거칠기에 대한 정보를 추출하였다. 산란 실험에는 수직 공진 표면광 레이저 제작에 사용된 다양한 종류의 웨이퍼가 이용되었다. 거울각 근처의 산란광 세기를 추정하기 위하여 fractal표면을 가정하였다. 분석에 사용된 변형된 투과 행렬 방법은 각 경계 면에서 산란 손실을 고려하면서 반사율을 효과적이고 쉽게 계산할 수 있게 하였다. 실험 결과, 표면 거칠기는 4A에서 10A로 나타났고, 산란에 따른 반사율 감소는 거칠기가 10A 경우에 0.26%에 해당하였다.
Publisher
한국광학회
Issue Date
1998-04
Language
Korean
Citation

한국광학회지, v.9, no.2, pp.63 - 69

ISSN
1225-6285
URI
http://hdl.handle.net/10203/24505
Appears in Collection
PH-Journal Papers(저널논문)
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