하향식 선형 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치(DOWNWARD TYPE LINEAR SOURCE AND DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILM USING THE SAME)
본 발명은 하향식 선형 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 노즐을 이용해 기화된 증착물질을 기판 상측에서 하향 분사하여 증착시키도록 구성되어, 구성을 단순화시킴과 아울러 증착 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 하향식 선형 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치를 제공하는 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-01-18
- Application Date
- 2009-07-01
- Application Number
- 10-2009-0059727
- Registration Date
- 2012-01-18
- Registration Number
- 10-1109690-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.