본 발명은 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 표면 플라스몬 공명(surface plasmon resonance)을 이용한 전자기파의 증폭으로 테라헤르쯔 생성 출력과 측정 감도를 높일 수 있는 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나 및 이의 제조방법을 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명에 따른 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나는 안테나 기판과, 상기 안테나 기판의 구동전극면에 적어도 하나 이상의 패턴이 연속적으로 배열되어 패터닝된 800㎚보다 작은 크기의 극미세 금속패턴어레이 및 상기 안테나 기판의 구동전극면에 구비되는 구동전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.