2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경 및 이를 이용한 영상처리 방법

Abstract

본 발명은 레이저빔을 조사하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 레이저빔을 수평 및 수직편광 빔으로 분리하는 제1 편광 빔분리기와, 상기 제1 편광 빔분리기로부터 각각 분리된 수평 및 수직편광 빔을 원형편광 빔으로 변환하는 제1 및 제2 위상차판과, 상기 제1 및 제2 위상차판으로부터 각각 변환된 원형편광 빔을 서로 직각인 2방향의 서로 다른 선초점 형태의 빔으로 출력하는 제1 및 제2 렌즈와, 상기 제1 및 제2 렌즈로부터 각각 출력된 선초점 형태의 빔을 수직방향으로 경로를 변경시켜 주사하는 제1 및 제2 스캐너와, 상기 제1 및 제2 스캐너로부터 각각 주사된 빔이 샘플 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 빔분리기와, 상기 빔분리기와 상기 샘플 사이에 배치되어, 입사되는 빔을 집속시키는 대물렌즈와, 상기 제1 편광 빔분리기와 상기 제1 및 제2 위상차판 사이에 각각 배치되며, 상기 샘플에서 반사되어 최초 입사된 광 경로를 따라 되돌아오는 반사빔이 제1 및 제2 영상획득장치 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 제2 및 제3 편광 빔분리기를 포함함으로써, 초고속 영상 획득속도와 고해상도의 장점을 동시에 가질 수 있는 효과가 있다.