고감도 변위측정장치High sensitive displacement measuring system usingLinear Variable Differential Transformer

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본 발명은 변위를 측정하는 변위측정장치에 있어서, 마이크로미터 이하의 위치 분해능의 초정밀 측정이 가능하도록 높은 감도를 갖는 초정밀 고감도 변위측정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 마이크로미터 이하의 정밀 측정이 가능한 변위측정장치에 있어서, 자성체(17, 19)를 이용하여 폐루프를 형성하고, 상기 자성체(17, 19)의 폐루프 내에 자기장을 형성하는 주코일뭉치(11)와 2차 코일뭉치(13)를 수용하는 전자기시스템(10)과, 변위입력부(21)와 2차 코일이 감겨진 코어(14)에 고정된 변위출력부(24)를 구비하며, 상기 변위입력부(21)로 입력된 변위에 대하여 상기 변위출력부(24)가 비례적으로 증폭된 변위를 출력하도록 안내하는 판스프링(20)과, 상기 입력되는 변위가 한 축방향으로만 입력되도록 상기 판스프링(20)의 변위입력부(21)를 지지하는 지지수단(30)을 포함하는 변위측정장치가 제공된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2002-07-19
Application Date
2000-02-02
Application Number
10-2000-0005196
Registration Date
2002-07-19
Registration Number
10-0347012-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235745
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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