나노소재 전사방법, 나노소재 필름 제조방법, 장치 및 이에 의하여 제조된 나노소재 필름Method for transferring nano-materials, manufacturing nano-materials films, and nano-materials film manufactured by the same

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나노소재 필름 전사방법, 나노소재 필름 제조방법, 장치 및 이에 의하여 제조된 나노소재 필름이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노소재 필름 전사방법은 나노소재가 여과물 형태로 흡착된 멤브레인 필터 전면을 기판에 접촉시키는 단계; 상기 멤브레인 필터 후면으로 진공을 인가하여, 상기 기판을 멤브레인 필터로 가압하는 단계; 및 상기 멤브레인 필터를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 진공박리(Vacuum Release) 방식의 전사공정을 포함한다. 즉, 멤브레인의 기공을 통해 제거된 공기압 저하에 따라 전체적으로 균일한 압력을 기판과 나소소재가 흡착된 멤브레인 필름에 전달 함으로써 나노와이어 및 나노소재를 원하는 기판으로 거의 100%에 가까운 효율로 전사할 수 있다는 장점이 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2013-03-26
Application Date
2010-12-10
Application Number
10-2010-0126085
Registration Date
2013-03-26
Registration Number
10-1249593-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235365
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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