헬리콘 플라즈마 장치HELICON PLASMA APPARATUS

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본 발명은 헬리콘 플라즈마 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 챔버에 장착된 복수의 유전체 튜브들, 각각의 유전체 튜브들의 둘레에 배치된 안테나들, 안테나들과 수직하게 이격되어 배치된 토로이드 형태의 영구자석들, 영구 자석들의 일부 또는 전부를 고정하고 고정된 영구 자석들이 배치되는 배치 평면을 수직하게 이동시키는 이동부, 및 안테나들에 전력을 공급하는 RF 전원을 포함한다. 이동부를 이용하여 상기 안테나와 상기 영구 자석 사이의 수직 거리는 조절된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2012-05-23
Application Date
2010-06-25
Application Number
10-2010-0060524
Registration Date
2012-05-23
Registration Number
10-1151223-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235090
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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