마이크로플루이딕 채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 마이크로플루이딕 채널 및 그 응용

Abstract

마이크로플루이딕 채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 마이크로플루이딕 채널 및 그 응용이 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로플루이딕 채널 제조방법은 상부, 하부가 유체 연통하는 곡면 구조의 마이크로플루이딕 채널 제조방법으로서, 상기 방법은 곡면 형상을 포함하는 주형 패턴에 폴리머 전사층을 상기 주형 패턴 높이보다 두꺼운 두께로 적층하여, 상기 곡면 형상을 상기 폴리머 전사층에 전사시키는 단계; 상기 전사된 폴리머 전사층의 두께를 감소시켜, 상기 주형 패턴의 일부가 노출되도록 하는 단계; 및 상기 주형 패턴으로부터 상기 폴리머 전사층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 마이크로플루이딕 채널은 하부에 소정 크기의 홀이 형성된 곡면 구조로서, 채널 하부에 구비되는 홀보다 큰 크기를 갖는 유체 내 시료는 상기 곡면 형태의 마이크로플루이딕 채널 내에서 포획되어, 유체로부터 분리될 수 있다. 또한, 하부 홀의 크기를 폴리머 전사층 높이의 식각 조절만으로 간단히 조절할 수 있으므로, 다양한 크기의 유체 내 시료를 효과적으로 분리할 수 있다.