집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법Integrated thin-film solar cells and method of manufacturing thereof

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본 발명은 박막 태양전지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조 공정시 발생되는 태양전지의 손실을 최소화하고 저가의 공정으로도 가능한 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 제조 방법은 (a) 절연성 기판 상에 인접하고 있는 상호간 소정의 간격으로 이격되도록 패터닝된 전도성 물질을 형성하는 단계; (b) 상기 (a) 단계에 의한 기판 위에 태양전지(반도체)층을 형성하는 단계; (c) 상기 태양전지(반도체)층 위에 제1 투명전도성 물질을 비스듬히 증착하는 단계; (d) 상기 제1 투명전도성 물질을 마스크로 사용하여 상기 태양전지(반도체)층을 식각하는 단계; 및 (e) 상기 (d) 단계에 의한 기판 위에 제2 투명전도성 물질을 비스듬히 증착하여 상기 전도성 물질과 상기 제2 투명전도성 물질을 연결시키는 단계;를 포함하여 이루어진다. 따라서, 본 발명에 따르면 태양전지의 단위 소자 간 절연 간격을 기존의 레이저 스크라이빙 및 화학적 기화 가공법에 비해 수 십배 이상 줄일 수 있어 유효면적을 극대화할 수 있으며, 이에 따라 태양전지의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2006-12-06
Application Date
2005-12-14
Application Number
10-2005-0123337
Registration Date
2006-12-06
Registration Number
10-0656738-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234761
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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