정전분무 화염증착법을 이용한 박막 제조장치Thin or Thick Film deposition Unit UsingElectrospray-assisted Combustion CVD

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본 발명은 세라믹 및 금속 폴리머 박막 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 세라믹 및 금속 폴리머 박막을 제공함에 있어서 기존의 졸-겔법, CVD/PVD법, 그리고 에어로졸 기술을 이용한 화염증착법이나 정전 스프레이 박막 제조법과 비교하여 보다 경제적이고 박막 미세구조 제어 성능이 우수하며 고품질의 다성분계 박막을 제공하는 것을 특징으로 하는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막과 후막 제조장치에 관한 것으로,메탄이나 아세틸렌등의 가스연료와 산소 등의 산화제를 통과시켜 하단에 화염을 형성시키는 벌집형태의 허니콤 버너와; 상기 허니콤 버너에 산화제를 공급하는 산화제 공급장치와; 상기 하니콤 버너의 일측에 관통하여 설치되며, 전구체 용액을 이송시키는 노즐 형태의 모세관과; 상기 모세관을 통해 전구체 용액을 공급하는 주사기 펌프와; 상기 모세관 출력단에 일정거리 이격되어 설치되며, 모세관 전극으로부터 출력되는 전구체가 허니콤 버너의 출력단에 형성되는 화염에 의해 증발 및 화학 반응이 유도된후 박막 형태로 고착되도록 하는 기판을 포함하여 구성함이 특징이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2007-02-12
Application Date
2005-05-11
Application Number
10-2005-0039244
Registration Date
2007-02-12
Registration Number
10-0684275-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234638
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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