광압을 이용한 입자빔 집속장치

Abstract

본 발명은 같은 유량조건과 입자크기에 대해 보다 좁은 입자빔 폭을 얻을 수 있고 결과적으로 보다 높은 수농도를 얻을 수 있으며, 주어진 입자 크기에 대해 입자빔을 형성할 수 없는 유동조건에 대해서도 광압을 입자에 가하여 입자빔을 형성할 수 있고 반대로 주어진 유동조건에 대해 입자빔을 형성할 수 없는 입자의 크기에 대해서도 입자빔을 형성할 수 있도록 하는 광압을 이용한 입자빔 집속장치를 제공하는 것이다. 이를 위하여 본 발명은 입자발생기와 입자발생기에 연결된 믹싱관 및 믹싱관의 토출측에 결합된 튜브를 포함하는 입자빔 집속장치에 있어서, 튜브의 소정위치에 구비되어 입자흐름을 입자빔으로 결속시킴과 동시에 유동입자에 광압을 가할 수 있도록 중심에 소정 직경의 구멍이 형성된 렌즈로 구성된 오리피스부; 및 믹싱관의 토출측의 대향측부에 구비된 광원공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.