레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치Method for manufacturing graphene, graphene manufactured by the same, manufacturing device for the same
레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치가 제공된다. 본 발명에 따른 레이저를 이용한 그래핀 제조방법은 실리콘층 및 실리콘 산화물층이 순차적으로 적층된 기판에 탄소를 함유하는 반응가스를 접촉시키는 단계; 반응가스와 접촉하는 기판에 레이저 빔을 조사하여, 상기 반응가스를 분해시키는 단계를 포함하며, 상기 반응가스의 분해에 따라 상기 기판 상에는 그래핀이 성장하는 것을 특징으로 하며, 본 발명의 그래핀 제조방법에 따르면, 나노초 이상의 펄스를 가지는 레이저 빔을 이용, 펨토초 수준의 분해속도를 갖는 탄소함유 기체(메탄)를 분해시킨다. 이에 따라 대면적으로 그래핀을 성장, 제조할 수 있으며, 더 나아가 원하는 기판 영역으로만 레이저를 선택적으로 조사함으로써 원하는 패턴의 그래핀을 제조할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-03-09
- Application Date
- 2010-09-16
- Application Number
- 10-2010-0091217
- Registration Date
- 2012-03-09
- Registration Number
- 10-1127742-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)EE-Patent(특허)
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