독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 ＡＦＭ 정밀 측정 방법method for high-resolution AFM measurement for three dimensional structure of free-standing nano structure
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이진환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:12:26Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:12:26Z | - |
| dc.date.issued | 2013-12-27 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233580 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 따른 독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법은 독립 나노 구조체의 주위에 미세 분자를 다층으로 성장시켜 상기 독립 나노 구조체를 고정하는 고정 단계; 상기 미세 분자를 열처리하여 상기 미세 분자의 표면을 평탄화시키는 평탄화 단계; 및 상기 독립 나노 구조체의 상부에 AFM 탐침을 배치하여 상기 독립 나노 구조체를 측정하는 측정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 ＡＦＭ 정밀 측정 방법 | - |
| dc.title.alternative | method for high-resolution AFM measurement for three dimensional structure of free-standing nano structure | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이진환 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0017895 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1347557-0000 | - |
| dc.date.application | 2013-02-20 | - |
| dc.date.registration | 2013-12-27 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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