독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법method for high-resolution AFM measurement for three dimensional structure of free-standing nano structure

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dc.contributor.author이진환ko
dc.date.accessioned2017-12-20T11:12:26Z-
dc.date.available2017-12-20T11:12:26Z-
dc.date.issued2013-12-27-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/233580-
dc.description.abstract본 발명에 따른 독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법은 독립 나노 구조체의 주위에 미세 분자를 다층으로 성장시켜 상기 독립 나노 구조체를 고정하는 고정 단계; 상기 미세 분자를 열처리하여 상기 미세 분자의 표면을 평탄화시키는 평탄화 단계; 및 상기 독립 나노 구조체의 상부에 AFM 탐침을 배치하여 상기 독립 나노 구조체를 측정하는 측정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
dc.title독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법-
dc.title.alternativemethod for high-resolution AFM measurement for three dimensional structure of free-standing nano structure-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor이진환-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2013-0017895-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1347557-0000-
dc.date.application2013-02-20-
dc.date.registration2013-12-27-
dc.publisher.countryKO-
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PH-Patent(특허)
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