현미경 초점 면 안정화 방법 및 장치STABILIZATION METHOD AND EQUIPMENT OF FOCAL PLANE IN MICROSCOPY BY USING REMOTE FOCUSING AND ASYMETRIC POINT SPREAD FUNCTION DEFORMATION
본 발명은 초점 면을 나노미터 수준으로 안정화 시키기 위한 방법의 일환으로, 원거리 초점 맞추기 기법과 점 확산 함수(Point Spread Function)의 비선형적 변형을 이용하여 초점 면 안정화 방법 및 그 장치에 관한 것이다.현미경 초점 안정화 방법에 있어서, 참조 광원을 덮개유리면에 초점 맞추는 단계; 참조 광원의 점 확산 함수를 비선형으로 변형하는 단계; 및 참조 광원의 초점함수를 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-05-07
- Application Date
- 2012-05-09
- Application Number
- 10-2012-0049239
- Registration Date
- 2014-05-07
- Registration Number
- 10-1394799-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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