집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법INTEGRATED THIN-FILM SOLAR CELLS AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF

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본 발명은 집적형 박막 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 집적형 박막 태양전지의 제조방법은 (a)기판 상에 하나의 절연 둑과 이와 이웃하는 타 절연 둑이 소정 간격 이격되도록 복수개의 절연 둑 패턴들을 형성하는 단계, (b)상기 소정 간격 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계, (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계, (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, (e)상기 제1 전극층의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계 및 (f)하나의 소정 간격 상에 형성된 제1 전극층과 이와 이웃하는 타 소정 간격 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다. 집적형, 절연 둑, 경사증착, 버스바 영역
Assignee
한국철강 주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-12-06
Application Date
2008-06-30
Application Number
10-2008-0063146
Registration Date
2010-12-06
Registration Number
10-1000380-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232703
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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