다중외팔보 MEMS 센서의 제조방법 및 다중외팔보 MEMS 센서를 이용한 음원위치 추정방법

Abstract

본 발명은 복수개의 외팔보를 갖는 기계적 센서로서, 종래의 음원위치 추정 알고리즘을 대체하여, 비용이 저렴하고, 따라서 로봇의 대량생산 등에 기여할 수 있는 다중외팔보 MEMS 센서와 그 제조방법, 이를 이용한 음원위치 추정장치 및 그 이용방법에 관한 것이다. 본 발명의 구체적 수단인 다중외팔보 MEMS 센서는 일단은 자유단이고 타단은 고정단이며, 고정단측에 압저항체(20) 및 압저항체(20)에 의하여 발생한 소정의 신호를 감지하는 검지부(30)를 갖는 외팔보(100); 및 압저항체(20)에 의한 신호를 검출하기 위한 단자부(T);를 포함하고, 외팔보(100)는 복수개이고, 복수개의 외팔보(100)의 자유단들은 길이가 서로 다른 것을 특징으로 한다. 그리고, 이러한 다중외팔보 MEMS 센서의 제공방법을 제공한다. 나아가, 다중외팔보 MEMS 센서의 이용방법과 음원위치 추정장치도 제공한다. 다중외팔보, 음원위치추정, 센서, 도달시간지연, 피치 주파수, 유성음, 공진주파수, 압저항물질