고차 조화파 엑스선 발생장치 및 방법, 그리고 고차조화파 엑스선을 이용한 바늘구멍 에돌이 간섭계APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING HIGH HARMONICX-RAY, AND POINT DIFFRACTION X-RAY INTERFEROMETERUSING HIGH HARMONIC X-RAY

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dc.contributor.author남창희ko
dc.contributor.author이동근ko
dc.date.accessioned2017-12-20T10:28:11Z-
dc.date.available2017-12-20T10:28:11Z-
dc.date.issued2007-09-10-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/232516-
dc.description.abstract본 발명은 결맞음성이 우수한 고차 조화파 엑스선 광원을 이용하여 극자외선 리소그라피용 광학계의 표면 품질을 검사할 수 있는 바늘구멍 에돌이 간섭계와, 고차 조화파 엑스선을 발생시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 결맞는 광원으로 고차 조화파 엑스선 빔을 사용함으로써, 광원을 만들어 내는 장치의 규모를 기존의 방사광 가속기에서 생성된 광원을 이용하는 장치에 비해서 약 100분의 1 수준으로 줄일 수 있었으며, 고출력 펨토초 레이저에 의한 드릴링 기술을 사용한 미세 구멍이 뚫린 마이크로 박막을 사용하여 간섭계 장치를 단순화시킴으로써 산업적 효용성을 증대시켰다. 바늘구멍 에돌이 간섭계, 펨토초 레이저, 고차 조화파 엑스선, 위상파면 측정, 결맞음성.-
dc.title고차 조화파 엑스선 발생장치 및 방법, 그리고 고차조화파 엑스선을 이용한 바늘구멍 에돌이 간섭계-
dc.title.alternativeAPPARATUS AND METHOD FOR GENERATING HIGH HARMONICX-RAY, AND POINT DIFFRACTION X-RAY INTERFEROMETERUSING HIGH HARMONIC X-RAY-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor남창희-
dc.contributor.nonIdAuthor이동근-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2003-0014134-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0759023-0000-
dc.date.application2003-03-06-
dc.date.registration2007-09-10-
dc.publisher.countryKO-
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