정전분무법에 의한 산화아연 투명전도성 박막의 제조방법Transparent conductive ZnO thin films prepared by electrospraying method

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본 발명은, 투과도가 높고 저항이 낮은 산화아연(ZnO) 박막을 제조하는데 있어 정전분무법을 사용함으로서, 기존에 산화아연 박막을 생성하는 공정에 비해 간단할 뿐만 아니라 입자 구성이 치밀한 박막을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2012-12-07
Application Date
2011-07-18
Application Number
10-2011-0071127
Registration Date
2012-12-07
Registration Number
10-1212193-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/231842
Appears in Collection
CBE-Patent(특허)
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