나노 다공성 멤브레인 및 이의 제조방법NANOPOROUS MEMBRANE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
본 발명의 나노 다공성 멤브레인은 나노 그리드가 형성되어 있는 기판을 준비하는 단계; 상기 나노 그리드의 돌출부상에 희생층 및 나노선을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 나노선 상에 마이크로 크기의 구멍을 갖는 지지층을 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 제거함으로써 상기 나노선이 부착된 상기 지지층과 상기 나노 그리드가 형성되어 있는 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하는 나노 다공성 멤브레인 제조방법에 따라 제조된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-03-03
- Application Date
- 2012-06-11
- Application Number
- 10-2012-0061916
- Registration Date
- 2014-03-03
- Registration Number
- 10-1371342-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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