비광축 스톱을 이용한 2.5차원 단층 영상용 현미경 시스템

Abstract

본 발명은 비광축 스톱을 이용한 2.5차원 단층 영상용 현미경 시스템에 관한 것으로서, 종래의 일반적인 현미경 광학계와 다르게 스톱이 광축에서 벗어난 위치에 구비됨으로써 시편을 광축과 평행하지 않은 각도에서 관찰하는 것과 동일한 효과를 가지며, 비광축 스톱의 위치를 변경 및 회전시켜 얻은 상을 3차원 복원 알고리즘을 사용함으로써, 시편에 대한 입체적인 정보를 얻고 이를 통해 2.5차원적 단층구조를 측정할 수 있는 비광축 스톱을 이용한 2.5차원 단층 영상용 현미경 시스템을 제공하기 위한 것으로, 그 기술적 구성은 시편을 지지하기 위한 제물대, 제물대의 시편을 관찰하기 위한 대물 렌즈, 대물 렌즈 통과한 시편의 광선이 빔 스플리터를 통해 전달되어 측정되는 접안 렌즈 및 CCD 카메라, 그리고 대물 렌즈와 빔 스플리터 사이에 개재되되, 시편의 광선이 전달되고, 소정 직경의 홀이 형성되며, 대물 렌즈의 상측 및 광축에서 벗어난 위치에 구비된 비광축 스톱을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.