실리콘 마이크로 니들 스탬프 및 그 제조방법Silicon micro needle stamp and method of fabricating the same

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본 발명은 첨예도가 높은 오목부를 가지는 마이크로 니들 스탬프를 구현하기 위한 제조방법으로서, 실리콘 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘 기판 상에 하드마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 하드마스크 패턴에 노출된 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계로서, 상기 실리콘 기판 내에 제 1 내부공간을 형성하도록 상기 실리콘 기판을 제 1 차 식각하는 단계; 및 상기 하드마스크 패턴에 노출된 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계로서, 상기 제 1 내부공간의 하부에 상기 제 1 내부공간 보다 횡단면적이 좁은 제 2 내부공간을 형성하도록 상기 실리콘 기판을 제 2 차 식각하는 단계;를 포함하되, 상기 실리콘 기판을 제 1 차 식각하는 단계와 상기 실리콘 기판을 제 2 차 식각하는 단계는 식각가스의 상대적 비율, 공정압력 및 소스/바이어스 파워 중에서 적어도 어느 하나의 공정조건이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
Assignee
KAIST
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2016-05-12
Application Date
2015-10-21
Application Number
10-2015-0146787
Registration Date
2016-05-12
Registration Number
10-1622388-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/230881
Appears in Collection
RIMS Patents
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