플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터Method for manufacturing flexible nanogenerator and flexible nanogenerator
투명 희생 기판 전면에 압전물질층을 적층하는 단계; 상기 압전물질층을 플렉서블 기판에 접합시키는 단계; 상기 투명 희생 기판 후면방향으로 레이저 빔을 조사하여, 상기 압전물질층을 상기 투명 희생 기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 압전물질층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원,코오롱인더스트리 주식회사
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-06-03
- Application Date
- 2014-02-13
- Application Number
- 10-2014-0016655
- Registration Date
- 2016-06-03
- Registration Number
- 10-1629472-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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